真空鋁合金閘閥

真空度:中度真空

漏率: 1x10-9 mbar l/s, He

使用壽命: 20萬次(依製程而有些許改變)

鋁合金閥體 。無波紋管密封 。

特色

- 低購入成本與維修成本 。

- 方便安裝與維修

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