真空L型傳輸閘板閥

真空度:高真空

漏率: 1E-9 mbar l/s, He

使用壽命: 100萬次(依製程而有些許改變)

鋁合金或SUS閥體可供選擇 。波紋管密封和無波紋管 。

應用於真空環境 ，傳輸物品之閘門

特色

- L-Motion ，不同於單軸單向的閘板閥 ，作動采用

特殊開關方式 ，L-Motion Lock 可將閥門關閉位置固定 。

- 方便安裝與維修

- 閘板更換成本較低

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