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真空度:高真空
漏率: 1E-9 mbar l/s, He
使用壽命: 100萬次(依製程而有些許改變)
鋁合金或SUS閥體可供選擇 。波紋管密封和無波紋管 。
應用於真空環境 ,傳輸物品之閘門
特色
- L-Motion ,不同於單軸單向的閘板閥 ,作動采用
特殊開關方式 ,L-Motion Lock 可將閥門關閉位置固定 。
- 方便安裝與維修
- 閘板更換成本較低
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