氣動真空隔絕閥

  • 真空隔絕閥適用於初步或者前端係統中 。大部分應用於連接排氣係統 ,在這過程中有可能會汙染到腔體本身 。

    閥體特殊設計可以更好 ,而且當幫浦倒流時可以保護腔體本身 。真空隔絕閥本身是使用焊式波紋管 ,將閥體縮小優化 ,提供更佳的傳導性 。

    氣動角閥 ,超高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    A1

    B

    C

    PAV-UHV-CF-133

    3/4”

    41

    41

    52

    147

    PAV-UHV-CF-133-1

    3/4”

    55

    55

    52

    162

    PAV-UHV-CF-275

    1-1 /2”

    63

    63

    65

    174

    PAV-UHV-CF-275-1

    1-1 /2”

    67

    67

    65

    178

    氣動角閥 ,超高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    A1

    B

    C

    PAV-UHV-CF-450

    2-1 /2”

    91

    91

    70

    251

    PAV-UHV-CF-450-1

    2-1 /2”

    86

    86

    70

    246

    PAV-UHV-CF-600

    4”

    113

    113

    89

    342

    PAV-UHV-CF-600-1

    4”

    118

    118

    89

    348

    氣動Y型閥 ,超高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    PIV-UHV-CF-133

    3/4”

    119

    PIV-UHV-CF-275

    1-1 /2”

    133

    氣動Y型閥 ,超高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    PIV-UHV-CF-450

    2-1 /2”

    216

    PIV-UHV-CF-600

    4”

    355

    氣動角閥 ,高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    A1

    B

    C

    PAV-HV-CF-133

    3/4”

    41

    41

    52

    147

    PAV-HV-CF-133-1

    3/4”

    55

    55

    52

    162

    PAV-HV-CF-212

    1”

    50

    50

    52

    154

    PAV-HV-CF-212-1

    1”

    53

    53

    52

    156

    PAV-HV-CF-275

    1-1 /2”

    63

    63

    65

    174

    PAV-HV-CF-275-1

    1-1 /2”

    67

    67

    65

    178

    PAV-HV-CF-338

    2”

    72

    72

    67

    234

    PAV-HV-CF-338-1

    2”

    78

    78

    67

    240

    氣動角閥 ,高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    A1

    B

    C

    PAV-HV-CF-450

    2-1/2"

    91

    91

    70

    251

    PAV-HV-CF-450-1

    2-1/2"

    86

    86

    70

    246

    PAV-HV-CF-600

    4"

    113

    113

    89

    342

    PAV-HV-CF-600-1

    4"

    118

    118

    89

    348

    PAV-HV-CF-800

    6”

    144

    144

    140

    449

    PAV-HV-CF-800-1

    6”

    165

    165

    140

    469

    氣動Y型閥 ,高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    PIV-HV-CF-133

    3/4”

    119

    PIV-HV-CF-212

    1”

    107

    PIV-HV-CF-275

    1-1 /2”

    133

    PIV-HV-CF-338

    2”

    182

    氣動Y型閥 ,高真空 ,CF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    PIV-HV-CF-450

    2-1 /2”

    216

    PIV-HV-CF-600

    4”

    355

    PIV-HV-CF-800

    6”

    394

    氣動角閥 ,高真空 ,KF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    A1

    B

    C

    PAV-HV-KF-16

    3/4”

    40

    40

    52

    147

    PAV-HV-KF-16-1

    3/4”

    55

    55

    52

    161

    PAV-HV-KF-25

    1”

    50

    50

    52

    154

    PAV-HV-KF-25-1

    1”

    52

    52

    52

    156

    PAV-HV-KF-40

    1-1 /2”

    65

    65

    65

    176

    PAV-HV-KF-50

    2”

    70

    70

    67

    232

    PAV-HV-KF-50-1

    2”

    76

    76

    67

    238

    氣動角閥 ,高真空 ,ISO-K法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    A1

    B

    C

    PAV-HV-ISOK-63

    2-1 /2”

    88

    88

    70

    248

    PAV-HV-ISOK-63-1

    2-1 /2”

    83

    83

    70

    243

    PAV-HV-ISOK-80

    3”

    90

    90

    82

    284

    PAV-HV-ISOK-80-1

    3”

    89

    89

    82

    283

    PAV-HV-ISOK-100

    4”

    108

    108

    89

    338

    PAV-HV-ISOK-100-1

    4”

    114

    114

    89

    344

    PAV-HV-ISOK-160

    6”

    138

    138

    140

    442

    PAV-HV-ISOK-160-1

    6”

    159

    159

    140

    463

    PAV-HV-ISOK-200

    8”

    178

    178

    140

    648

    PAV-HV-ISOK-200-1

    8”

    210

    210

    140

    659

    PAV-HV-ISOK-250

    10”

    208

    208

    202

    668

    PAV-HV-ISOK-250-1

    10”

    260

    260

    202

    720

    氣動Y型閥 ,高真空 ,KF法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    PIV-HV-KF-16

    3/4”

    102

    PIV-HV-KF-25

    1”

    107

    PIV-HV-KF-40

    1-1 /2”

    130

    PIV-HV-KF-50

    2”

    178

    氣動Y型閥 ,高真空 ,ISO-K法蘭

    Catalogue PN

    Tube OD

    A

    PIV-HV-ISOK-63

    2-1 /2”

    209

    PIV-HV-ISOK-80

    3”

    268

    PIV-HV-ISOK-100

    4”

    345

    PIV-HV-ISOK-160

    6”

    381

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